射频微电子（关于射频微电子的基本详情介绍）

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1、中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)。

2、1985年研制成功。

3、获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。

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